薄膜厚度及其測量方法

2021-07-09


薄膜厚度是薄膜最重要的參數之一,它影響著薄膜的各種性質及其應用。

薄膜淀積速率是制膜工藝中的一個重要參數,它直接影響薄膜的結構的特性。

重點:薄膜厚度的測量和監控。

厚度:是指兩個完全平整的平行平面之間的距離。

理想薄膜厚度:基片表面到薄膜表面之間的距離。

由于薄膜具有顯微結構,要嚴格定義和精確測量薄膜厚度,實際上比較困難的。

薄膜厚度的定義是與測量方法和目的相關的。

圖片5.png

膜厚的測試方法:

1.形狀膜厚:

測試手段及方法:機械方法(觸針法,測微計法)、光學方法(多次反射干涉法,雙光纖干涉法)、其他方法(電子顯微鏡法)

2. 質量膜厚:

測試手段及方法:質量測定法(化學天平發,微量天平法,扭力天平法,石英晶體振蕩法)、原子數測量法(比色法、X射線熒光法、離子探針法、放射性分析法)

3. 物性膜厚:

測試手段及方法:電學方法(電阻法、電容法、渦流法、電壓法)、光學方法(干涉色法、橢圓偏振法、光吸收法)


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